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真空計的壓力測量范圍和特點以及真空計選用原則

真空計測量范圍壓力測量中,除極少數直接測量外,絕大多數是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現象,然后再測量這一過程中與壓力有關的物理量,進而設法確定壓力值。這是真空測量的特點,亦會造成某些問題
真空計測量范圍
壓力測量中,除極少數直接測量外,絕大多數是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現象,然后再測量這一過程中與壓力有關的物理量,進而設法確定壓力值。這是真空測量的特點,亦會造成某些問題。
任何具體物理現象與壓力的關系,都是在某一壓力范圍內才較顯著,超出這個范圍,關系變得弱了。因此,任何方法都有其一定的測量范圍,這個范圍就是真空計的“量程”。盡可能擴展每一種方法的量程,是真空科學研究的重要內容之一。近代真空技術所涉及到的壓力范圍寬達19個數級(105~10-14pa),沒有任何一種真空計能測量如此寬的壓力范圍,因此總是用幾種真空計分別管轄一定的區域。但由于各種真空計在原理上的差異.在相互銜接的區域,往往要造成較大的誤差。
在被測空間引起一定物理現象,還會出現這樣的問題,即從測量的角度出發,本需要一種單純的物理現象,但有時卻不可避免地帶來一系列寄生現象,這些寄生現象不但給測量量帶來誤差,有時還會“喧賓奪主”,完全把主要現象掩蓋住了。
由上觀之,為改善真空計性能及提高真空測量準確度,必須突出主要現象,抑制寄生現象。表1給出一些真空計的壓力測量范圍。
表1 一些真空計的壓力測量范圍
真空計名稱 測量范圍(Pa) 真空計名稱 測量范圍(Pa)
水銀U型管 105~10
高真空電離真空計 10-1~10-5
油U型管 104~1
高壓力電離真空計 102~10-4
光干涉油微壓計 1~10-2
B-A計 10-1~10-8
壓縮式真空計(一般型) 10-1~10-3
寬量程電離真空計 10~10-8
壓縮式真空計(特殊型) 10-1~10-5
放射性電離真空計 105~10-1
彈性變形真空計 105~102
冷陰極磁放電真空計 1~10-5
薄膜真空計 105~10-2
磁控管型電離真空計 10-2~10-11
振膜真空計 105~10-2
熱輻射真空計 10-1~10-5
熱傳導真空計(一般型) 102~10-1
分壓力真空計 10-1~10-14
熱傳導真空計(對流型) 105~10-1
真空測量特點
(1)測量壓力范圍寬,105~lO-14Pa。
(2)大部分真空計是間接測量,只有壓力為105~lOPa時,可直接測單位面積所受的力。但大多數真空測量的壓力遠比上述為小,不能直接測量,應利用低壓下氣體的某些特性(如熱傳導、粘滯性和電離等)進行間接測量。
(3)多采用非電量電測技術。
(4)大部分真空計的讀數與氣體種類和成分有關。所以測量時要特別注意被測量氣體種類和成分.否則會造成很大誤差。
(5)測量精度不高。
選擇真空計原則
(1)在要求的壓力區域內有要求的精度。
(2)被測氣體是否會損傷真空計;真空計可否會給被測氣體狀態帶來影響。
(3)能測全壓力嗎?可校準嗎?靈敏度與氣體種類有關否。
(4)可否連續指示、電氣指示以及反應時間長短。
(5)穩定性、復現性、可靠性和壽命如何。
(6)還要看真空計的安裝方法、操作性能、保修、管理、市場有無銷售、購買的難易程度和規格如何。
除上述應考慮的問題外,還要查閱參考書、樣本或直接向生產工廠詢問。
真空計的壓力測量范圍和特點以及真空計選用原則 2017-11-28 本文被閱讀 1594 次
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